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　3月26日-28日，中國新的獨角獸半導體設備製造商——深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上首次亮相就發(fā)布了5款工藝設備新品，包括外延沉積設備EPI（峨眉山）、原子層沉積設備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設備PVD（普陀山）、刻蝕設備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設備CVD（長白山）。受此消息鼓舞，新凱來相關股票連續(xù)飆升，其中至純科技（603690.SH）27日、28日連續(xù)兩天漲停板。

　「光刻機」作為芯片製造的核心設備之一被譽為「半導體皇冠上的明珠」。近年來，隨著5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術的快速發(fā)展，對芯片的需求呈現(xiàn)出爆炸式增長，且對芯片的性能要求越來越高。

　新凱來量檢測設備產(chǎn)品線負責人酈舟劍接受此間媒體採訪時表示，目前首要解決的還是半導體先進制程的製造問題，這方面，國外工藝節(jié)點還是領先的，但他有信心，新凱來開發(fā)的半導體系列製造設備能夠追上，據(jù)悉，新凱來提供的設備已能部分解決5納米先進芯片的製備。

　此前，有國外專業(yè)分析指，新凱來採用新光源技術路線避開了ASML的壁壘，可以完成利用落後的DUV設備製備出5nm的先進制程工藝芯片，並猜測華為手機推出的新麒麟芯片採用了這種方法。不過，從新凱來此次亮相的多款設備及有關負責人接受媒體採訪時的發(fā)言可看出，新凱來在半導體設備製造領域，遠比想象中走的更遠，其幾乎從底層重構了半導體設備製備的整個產(chǎn)業(yè)鏈，並有可能通過新的技術方法探索並走出一條半導體先進芯片製備的新路徑。

　新凱來技術有限公司成立於2021年8月，由深圳市國資委100%持股。官網(wǎng)提到，新凱來致力於半導體裝備及零部件、電子製造設備的研發(fā)、製造、銷售與服務，公司核心團隊具備20年以上電子設備技術開發(fā)經(jīng)驗，並聯(lián)合了眾多國內(nèi)半導體製造設備和零部件合作夥伴，「將國內(nèi)最優(yōu)秀的電子製造解決方案和生產(chǎn)測試裝備推介給行業(yè)客戶，促進產(chǎn)業(yè)能力提升?！?/p>

　其子公司新凱來工業(yè)機器有限公司成立于2022年，截止到目前的3年時間中，已攻克與半導體製備、檢測等相關的13類關鍵產(chǎn)品，核心零部件100%國產(chǎn)化。據(jù)悉，這些設備直指 7nm 以下先進制程，其中 ALD 「阿里山」 設備更是挑戰(zhàn)國際巨頭壟斷的 5nm 以下原子層沉積技術。

　天眼查顯示，新凱來工業(yè)公司和新凱來技術公司有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學、材料、工藝控制等關鍵環(huán)節(jié)。